技术编号：3245079
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及成膜技术，尤其涉及用于大型衬底的成膜的成膜技术。 背景技术目前，广泛使用的成膜装置在真空槽中配置有源，所述源产生成膜材 料的蒸汽或成膜材料的溅射粒子等。从成膜材料的源释放的粒子到达在真 空槽内配置的衬底的成膜面，在成膜面上成膜材料的薄膜生长。在使成膜材料的薄膜生长时，如果倾斜衬底使得成膜材料的粒子倾斜 入射到成膜面上，则在成膜面上具有一定取向性的成膜材料的结晶生长。 其结果是，可以得到具有由该结晶取向性引起的功能(例如液晶取向性)的膜(例如，参考...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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