技术编号:3245669
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 发明领域本发明涉及一种从容器蒸发在常温下为固体的有机金属化合物的 方法。特别是,本发明涉及一种蒸发容器中固体有机金属化合物的方 法,其中所述固体有机金属化合物以恒定浓度蒸发,并有效降低了所 述固体有机金属化合物在容器中的剩余量。现有技术有机金属化合物,例如三甲基铟,是有用的,例如,用作化合物 半导体的原料。通常,将装有有机金属化合物的容器在预定温度下放 置在温控浴中,将例如氢气的载气引入到容器中,从而与所述容器中 的有机金属化合物接触,然后将包含...
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