技术编号：32462016
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及湿法铝腐蚀工艺技术领域，具体为一种自动湿法铝腐蚀机构。背景技术.湿法铝化学腐蚀是最早用于微机械结构制造的加工方法，所谓湿法铝腐蚀，就是将晶片置于液态的化学腐蚀液中将表面的铝金属进行腐蚀，在腐蚀过程中，腐蚀液将把它所接触的材料通过化学反应逐步浸蚀溶掉。.晶圆在腐蚀时通常直接将晶圆放置在腐蚀箱中进行作业，腐蚀箱中溶液的反应物与晶圆相接触，溶液即可将晶圆表面的材料进行溶解，若将较多的晶圆同时放置在腐蚀箱中，此时晶圆与晶圆之间的接触面存在腐蚀盲区，不但腐蚀速率较慢，且腐蚀效果差，其...
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