成膜装置及使用该成膜装置的成膜方法技术资料下载

技术编号:3246373

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

但是,在日本专利申请特开No. 2005-158571所描述的方 法中,当动态地将基板压向掩模时,以严格的方式控制在垂直于基板的方向上压基板是困难的。即使挤压方向相对垂直方向只有轻微的偏 移,也存在平面方向上的力可能被施加到基板上而导致基板和掩模之 间在平面方向上的不对准之忧。结果,在形成于基板上的像素图案和 掩模图案之间不利地产生了平面方向上的不对准。发明内容(实例2)(比较实例)虽然本发明已经参考实施例进行了描迷,但是应当理解本发明并不限定于所公开的实...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 王老师:功能高分子材料,污水处理,电化学合成
  • 赵老师:1. 金属材料表面改性技术 2. 超硬陶瓷材料制备与表面硬化 3. 规整纳米材料制备及应用研究
  • 王老师:1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
  • 王老师:1.精密/超精密加工技术 2.超声波特种加工 3.超声/电火花复合加工 4.超声/激光复合加工 5.复合能量材料表面改性 6.航空航天特种装备研发
  • 郝老师:1. 先进材料制备 2. 环境及能源材料的制备及表征 3. 功能涂层的设计及制备 4. 金属基复合材料制备
  • 刘老师:非常规环境下二次电池关键材料与电化学机理,锂/钠离子电池,锂-空气电池关键材料,多孔合金电极材料,新型二次电池的设计与改性。
  • 丁老师:1.材料物理与化学 2.新能源材料与技术 3.纳米多孔金属 4.纳米催化/电催化 5.化学合成及修饰 6.燃料电池 7.生物传感器
  • 王老师:机械制造