技术编号:3246373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。但是,在日本专利申请特开No. 2005-158571所描述的方 法中,当动态地将基板压向掩模时,以严格的方式控制在垂直于基板的方向上压基板是困难的。即使挤压方向相对垂直方向只有轻微的偏 移,也存在平面方向上的力可能被施加到基板上而导致基板和掩模之 间在平面方向上的不对准之忧。结果,在形成于基板上的像素图案和 掩模图案之间不利地产生了平面方向上的不对准。发明内容(实例2)(比较实例)虽然本发明已经参考实施例进行了描迷,但是应当理解本发明并不限定于所公开的实...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。