技术编号:32479920
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光电技术领域,具体而言,涉及一种垂直腔面发射激光器。背景技术.垂直腔面发射激光器(vertical-cavity surface-emitting laser,简称vcsel),又可以称为垂直共振腔面射型激光,其激光垂直于顶面射出,与一般用切开的独立芯片制程,激光由边缘射出的边射型激光有所不同。.现有技术中的垂直腔面发射激光器,一般会在制备过程中通过氧化孔径实现单模输出,如果要再进一步优化并限制高阶横模,一般会在制备过程中增加锌扩散制程。具体地,在氧化限制vcsel的顶部分布式...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。