技术编号：32494111
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及椭偏仪技术领域，具体为一种新型的激光椭偏仪。背景技术.激光型椭偏仪基于椭圆偏振测试技术，通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态振幅和相位的改变，建立样品相应光学模型，计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数。主要应用于测试具有绒面结构的晶体硅减反射膜的厚度和光学特性。.现有的激光椭偏仪较为复杂，使用不便；结构不稳固，导致光学系统位置变化，影响测量精度；非模块化设计，维护复杂且成本高昂。实用新型内容.本实用新型所解决的技术问题在于提供一种使用便捷、结构牢固、模块化设计的激光椭偏仪，...
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