技术编号：3249919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过阴极溅射在衬底表面上制作方向层的方法， 在每一情形下，在该表面的切向平面内有一个标称方向性.该类层通 常是磁性层或者磁性层的支承层，其特征为磁性优选方向。它们较多地用于数据处理系统的存储组件内，例如在硬盘和MRAM的读/写头 中。本发明还涉及实施该方法的装置， 背景技术已在美国US67卯482B2中描述了该类方法.其在平坦衬底上提供 方向磁性层，允许在一个特定的基本恒定标称方向比其它方向上容易 地磁化，尤其是比与该标称方向垂直的那些方向....
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