技术编号：3250356
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及真空镀膜设备，尤其涉及镀膜工件转动架的结构。 背景技术采用真空镀膜技术是自前制备各种性能薄膜的途径之一，常规真空镀膜设备的工件 转架仅有公转，公转+自转的功能，为此存在外围镀膜不均匀，局部外露面镀不到或镀层 不均匀，环绕型外面体不能一次装夹完成真空镀膜发明内容-本发明的目的在于避免现有技术的不足之处而提供一种真空镀膜设备工件三维转 动机构，可实现工件在真空环境中.公转、公转+旋转、公转+自转、公转+自转+旋转四 种不同状态的运动效果，具备灵活...
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