开合装置及加工设备的制作方法技术资料下载

技术编号:32508004

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.本申请属于生产加工技术领域,更具体地说,涉及一种开合装置及加工设备。背景技术.近年来,激光切割技术在晶圆精密加工行业迅速发展。在行业内,晶圆加工设备的放料盒的门通过推拉实现打开,在设备出现异常情况需要开门维修时需要将整个门从设备拆卸下来,不便于操作。实用新型内容.本申请的实施例提供一种开合装置及加工设备,能便于操作。.第一方面,本申请的实施例提供一种开合装置,包括:.门框;.开合门,连接于所述门框且能相对所述门框转动;.推拉门,连接于所述开合门以跟随所述开合门转动,且能沿所述开合...
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