技术编号：3252859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种连接控制系统，尤其涉及一种用于半导体制造中离子注入机中部件与部件以及部件与主计算机的数据传输和控制的光线连接系统，属于半导体器件制造领域。背景技术现有半导体集成电路制造技术中，离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了很高的要求，要求离子注入机具有快速、准确的控制各个部件协同动作，还能避免干扰信号带来的误动作。离子注入机光纤系统连接技术对整机的全自动控制及系统的稳定性和可靠性密切相关。由于离子注入机存在高低电位差的特殊性(电势...
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