技术编号：32533311
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种清洗衬底的衬底清洗装置。背景技术.为了对用于液晶显示装置或有机el(electro luminescence，电致发光)显示装置等的fpd(flat panel display，平板显示器)用衬底、半导体衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、磁光盘用衬底、光罩用衬底、陶瓷衬底或太阳电池用衬底等各种衬底进行各种处理，使用衬底处理装置。为了清洗衬底，使用衬底清洗装置。.例如，日本专利第号公报中所记载的衬底清洗装置具备：个吸附垫，保持晶圆的背面周缘部；旋转夹盘，保持晶圆的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。