技术编号：3254462

提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种成膜装置，尤其涉及一种构成成膜装置的装入和取出室的结构。本申请基于2010年11月15日申请的特愿2010-255191要求优选权，并在此援引其内容。背景技术作为在半导体基板等形成功能膜的成膜装置，可以例举PVD (Physical VaporDeposition)装置和 CVD (Chemical Vapor Deposition)装置等。以这种PVD装置和CVD装置等为代表的成膜装置至少包括成膜室，对基板进行成膜；和装入和取出室(装卸腔室...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

该分类下的技术专家--如需求助专家，请联系客服

• 王老师：功能高分子材料，污水处理，电化学合成
• 赵老师：1. 金属材料表面改性技术 2. 超硬陶瓷材料制备与表面硬化 3. 规整纳米材料制备及应用研究
• 王老师：1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
• 王老师：1.精密/超精密加工技术 2.超声波特种加工 3.超声/电火花复合加工 4.超声/激光复合加工 5.复合能量材料表面改性 6.航空航天特种装备研发
• 郝老师：1. 先进材料制备 2. 环境及能源材料的制备及表征 3. 功能涂层的设计及制备 4. 金属基复合材料制备
• 刘老师：非常规环境下二次电池关键材料与电化学机理，锂/钠离子电池，锂-空气电池关键材料，多孔合金电极材料，新型二次电池的设计与改性。
• 丁老师：1.材料物理与化学 2.新能源材料与技术 3.纳米多孔金属 4.纳米催化/电催化 5.化学合成及修饰 6.燃料电池 7.生物传感器
• 王老师：机械制造