技术编号：3254551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空处理装置，其传送长的片状基材使之通过真空处理室，在该真空处理室对片状基材施加规定处理。背景技术由于长条状树脂制成的片状基材有弹性，也有良好的加工性，所以一般公知的是在其表面形成规定的金属膜或氧化物膜等规定薄膜，或进行热处理来制成电子部件或光学部件。以往，作为在真空中对这种片状基材进行规定处理的真空处理装置，已知的是具有真空处理室，所述真空处理室具有冷却滚筒和处理单元(溅射成膜用的阴极单元)，所述冷却滚筒上卷绕着一部分长的片状基材，所述处理...
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