技术编号：3257221
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种非晶硅太阳能电池沉积设备部件，特别涉及一种太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置。背景技术随着非晶硅太阳能薄膜电池生产技术的日趋成熟，各种非晶硅的太阳能产品遍布全球。其中，等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)生产非晶硅太阳能薄膜电池的工艺已被广泛使用。等离子体增强化学气相沉积技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。专利号为 ZL201120073512. 2，名称为“一种新型...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。