技术编号:3261720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械加工,尤其是研磨加工机床。背景技术 近年来,随着电子机器设备及移动通讯日新月异的发展,对电子产品短薄轻小化的需求,大多数的功能性元器件都被要求更小、更薄,而这些功能性元器件,较多采用硅、水晶,还有蓝宝石等单晶体材料,还有将粉体烧结的磁性材料及陶瓷成份的多晶体材料及光学玻璃、石英玻璃等的非晶体材料作为原料的情形,这些材料的共同特性是硬而脆,对生产加工此类原料的产品,则需要研究更高精度的元器件基板坯料,采用分别加工以达到更高效的加工方法。在此所谓...
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