技术编号：32622693
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明一般涉及用于射频匹配网络(单元)的控制系统，该网络用于等离子体处理机和其他射频功率传输应用。背景技术.等离子体工艺广泛用于制造半导体设备、太阳能电池、平板显示器以及某些医疗设备，而这些只是其中一些应用。最常见的为等离子体工艺供能的方法之一是以rf(射频)方式，将电能输送到包含工艺气体混合物的处理室。一些母体气体原子或分子被电离，从而产生足够数量的自由电子和离子，形成等离子体(也称为物质的第四状态)。等离子体状态下能够产生高活性的离子物种，这些离子物种雨点般落在等离子体室的任何工件上，...
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