技术编号：3262358
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制备高致密度金属氧化物薄膜的方法的领域。背景技术溶胶一凝胶方法是氧化物薄膜制备的一个常用方法，因为它具有工艺简单，制备成本低等特点。此外，相比于传统的薄膜制备方法，如气相沉积、喷涂、旋涂、脉冲激光沉积、光束外延生长等，溶胶一凝胶法的最大优点在于能够在不同的表面(不仅局限于平面)，尤其是多孔骨架上，实现薄膜的快速制备。这也是浸溃工艺的基础，常用于多孔骨架中纳米复合材料的制备，其工艺流程是先制备多孔的支撑体，然后将溶有金属离子的无机或有机溶液浸溃到多...
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