技术编号：32626691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有分段背板的微机电系统(mems)振动传感器技术领域.本发明总体上涉及具有分段背板的mems振动传感器，并且在特定实施例中涉及对应系统和方法。背景技术.微机电换能器在现代电子器件中既作为传感器又作为致动器发挥核心作用，并且用于多种不同应用中，例如作为麦克风、扬声器、压力传感器或加速度传感器。.微机电换能器可以具有膜，该膜可以根据换能器被形成为传感器还是致动器而以被动或主动方式移位。在形成为传感器的微机电换能器的情况下，膜可以被动地可移位，例如通过待检测的声音或待检测的加速度。待检测变量的...
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