技术编号：3264560
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成电路制造，是一种圆片背面金属化工艺用的夹具，具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具。背景技术目前，在圆片背面金属化工艺过程当中，真空蒸发台所使用的夹具只能装载与夹具本身尺寸相对应的圆片，在使用的灵活性上受到很大限制。实际操作过程中，当同时有两种或两种以上尺寸规格的圆片需要进行背面金属化时，只能先对其中一种尺寸规格的圆片进行工艺，然后再对另一种尺寸规格的圆片进行工艺，以此类推，通过这样反复多次的工艺来完成所有的加工需求。这样多批次的重复性作 业，...
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