铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3267099

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本实用新型涉及一种太阳能电池的生产设备,特别涉及一种铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置。背景技术铜铟镓硒太阳能电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等显著特点,光电转换效率居各种薄膜太阳能电池之首,接近于晶体硅太阳能电池,而成本则是晶体硅电池的三分之一,被国际上称为新型薄膜太阳能电池,但是其对工艺和制备条件的要求很闻。 铜铟镓硒薄膜太阳能电池采用钠钙玻璃,薄膜的形成有第一步,沉积鉬薄膜形成底电极;第二步,沉积铜铟镓薄膜形成预制层;第三步,通...
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