技术编号:32673198
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及控制设备技术领域,具体涉及一种控制箱及分子泵机组。背景技术.分子泵是基于动量传递原理,在变频电源驱动电机的带动下高速旋转,在分子流区域内,气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。分子泵属于动量真空泵,是通过使分子定向流动而被排出泵外。分子泵主要在前级泵实现启动压强后才进行抽气,与低真空泵配合进行使用,应用于表面物理和质谱类科研仪器,离子注入和刻蚀等半导体前道工艺装备,ito、ar、af和low-e等工业...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。