技术编号:32674463
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及电子束检测装置技术领域,具体涉及一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法。背景技术.扫描电镜是电子光学仪器,利用电子源发射电子束,然后聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描,电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子,其产生的效率与样品表面形貌或材料相关,将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来,并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示,即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于.纳...
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