技术编号:3267729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。—种在CVD设备中检测基板破片的装置本实用新型涉及ー种在CVD设备中检测基板破片的装置。背景技木在基板进入CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)设备之前,设备只能判断基板是否有破碎,但是不能判断基板上位于边角处的破损和基板上的裂纹;出现裂纹和破角的玻璃基板会在设备内破裂,损坏设备,影响生产。实用新型内容本实用新型的目的是提供ー种在CVD设备中检测基板破片的装置,以解决上述技术问题。为达到以上目的,本实用新型采用如下技术...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。