技术编号:32707610
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本揭露是关于一种记忆体元件及其形成方法。背景技术.集成电路包括一次性可编程(one-time-programmable;otp)记忆体元件,以提供非挥发性记忆体(non-volatile memory;nvm)元件使用,使得数据可在集成电路关闭后不会流失。非挥发性记忆体的一种形式为安装在集成电路内的反熔丝(anti-fuse)单元,其使用连接于其他电路元件的一层介电材料(例如,氧化物)。为编程反熔丝单元,跨越介电材料提供一编程电场,藉以实质上转换(例如,使崩溃)介电材料,使得介电材料的电阻...
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