技术编号:3275225
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光伏电池,特别涉及一种节约型石墨舟清洗机。背景技术在光伏电池生产中PECVD设备的产品承载装置石墨舟,在长期使用中表面会附着O. 8-lmm的沉积物,如果继续使用的话,会影响后期的产品质量。而此沉积物会与氢氟酸发生剧烈反应,所以在市面上就出现了一种专门用于氢氟酸的清洗设备。但是,在市面上能够购买到的清洗设备只有一个酸槽可供使用,当需要对清洗后的石墨舟取出时,必须对氢氟酸进行排放,这样做势必会对药液有一定的浪费,对药液不能重复利用;而且适应性比...
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