技术编号：32757397
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体微纳加工技术领域，具体涉及一种在银基底上的大深宽比二氧化钛纳米图案的加工方法。背景技术.根据与光波作用的形式，当前的超表面或超构透镜可被划分为透射型和反射型。目前，透射式超表面或超构透镜由于其加工工艺成熟，已经在高度集成的光学系统中逐渐实现了商业化，其中在可见光，红外，太赫兹和微波频率等波段下，出现了各种各样不同功能的器件。而反射式光学超表面或超构透镜，受限于加工工艺，目前实现的较少，文献报道中往往只通过三维电磁场仿真软件(cst)或时域有限差分方法(fdtd)仿真进行模拟...
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