技术编号：3278227
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置，使用该冷却方式冷却气体导入喷头的装置。背景技术在薄膜沉积设备沉积薄膜中，有利用PECVD(Plasma Enhance Chemical vapordeposition)处理，在被处理体上进行成膜的过程。进行这种成膜过程设备中具有处理容器和气体喷头。该处理容器具有用来载置光伏玻璃的载台；该气体喷头则与该载台相对设置，向着光伏玻璃表面供给成膜所需的气体。在该喷头内形成气体流路，可将多种成膜气体均匀地供...
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