技术编号：32797532
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。mems压电扬声器【技术领域】.本发明属于声电技术领域，尤其涉及一种mems压电扬声器。【背景技术】.mems压电扬声器作为手机及平板电脑等移动终端的主要元器件之一，其主要是用于将电信号转换成声音信号，是实现人机交互接口的关键。尤其是tws耳机的出现，小型化及高性能的扬声器需求日渐迫切，mems压电扬声器因其小型化、轻量化及低功耗等特点，成为了与传统扬声器组合并承载高频段振动的主要元器件。.现有的mems压电扬声器主要包括基底、固定在基底上的结构层及置于结构层上的压电功能层，压电功能层包括...
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