技术编号:3281913
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种OLED镀膜机,本发明尤其适合于制造具有较大尺寸的OLED。背景技术真空蒸镀是OLED (Organic Light-Emitting Diode,即有机发光二极管)器件制备过程的主要方法之一。OLED器件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。有机材料的蒸镀目前还存在有效使用率低(〈10%)、蒸镀层上掺杂物成分不均匀性、蒸镀层厚度不均匀、蒸镀速率不稳定、真空腔容易污染等等不足之处,从而导致样片基板的镀膜均匀度达不...
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