技术编号：3282524
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于薄膜制备领域，具体地说是一种低温低损伤多功能复合镀膜的装置。背景技术透明有机光电器件由于具有较快的响应速度、较少的能量消耗、更高的亮度和可加工性等优点，已在新型平板显示、固体照明、柔性显示、高密度信息传输与存储、新能源和光化学利用等领域显现了广阔的应用前景。在这些透明有机光电器件中，通常需要在有机材料层上溅射沉积透明导电氧化物薄膜材料作为阴极，但传统的磁控溅射技术由于靶材与有机材料衬底平行，等离子体处于靶材和衬底之间，具有一定能量的荷能粒子如...
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