技术编号：32829091
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及蒸发镀膜领域，具体为一种镀膜机用新型蒸发源装置。背景技术.蒸发镀膜，vtd等类似工艺设备利用一些材料加热融成液态后，液态材料蒸发成蒸汽，沉积在基材上，实现镀膜；此类设备的一个关键器件是蒸发器，蒸发器的功能，就是容器受热后，容器内的材料受热融化成液态，液态材料的蒸发成蒸汽，镀膜速度取决于温度；现有的镀膜蒸发器功能比较单一，在对液体材料进行加热的时候，往往采用加热杆加热，但是现有的加热杆在加热的时候不仅加热效率低，速度慢，而且液体材料上料的时候容易出现损坏，尤其很多蒸发器设有搅拌...
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