技术编号：32838054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。mems芯片、差压传感器和电子设备技术领域.本申请涉及微电子技术领域，更具体地，涉及一种mems芯片，具有该mems芯片的差压传感器，以及具有该差压传感器的电子设备。背景技术.差压传感器可以用来测量两个气压之间差值，具体地，差压传感器通常包括mems芯片和线路板，mems芯片具有敏感膜，可以通过感应气流在敏感膜两侧形成的压差生成电信号，从而获取敏感膜两侧气流之间的压差。其中，敏感膜属于敏感元件，容易受到外界影响。.现有技术中，mems芯片具有贯穿芯片两个相对设置的端面的通道，敏感膜可以设置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。