技术编号:3283958
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。单晶铜键合线清洗装置所属本实用新型涉及一种清洗装置,尤其是一种单晶铜键合线清洗装置。技术背景单晶铜键合线在进入退火机之前,为了保证其质量,必须进行彻底清洗掉其表面的附着物。目前,公知的单晶铜键合线清洗方法是利用清洗液对单晶铜键合线直喷冲洗,这种方法冲洗得干净、彻底,但由于单晶铜键合线非常细,常出现形变和断丝现象。发明内容本实用新型的目的是提供一种能够把单晶铜键合线清洗得干净、彻底,防止出现形变和断丝现象的单晶铜键合线清洗装置。为实现上述目的,本实用新型采用...
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