技术编号：3284612

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优选地，获得密封处理腔室(168)的内外热测量值允许控制系统(202)基于内外热测量值与预定值的比较来生成控制信号。向流体处置系统(216)提供控制信号，其中流体处置系统调制第一流体围绕密封处理腔室外部的流动。还向闭环热交换系统(220)提供控制信号，其中闭环热交换系统基于控制信号来调制在密封处理腔室的内腔内的第二流体的流动。还向开环热交换系统(218)提供控制信号，其中开环热交换系统调制密封处理腔室的内腔内的第三流体的流动。专利说明背景技术[0001]一...
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