技术编号：32885388
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于能源回收技术领域，具体涉及一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置。背景技术.真空蒸发(vacum evaporation)镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。cigs：铜铟镓硒太阳能电池。.当前蒸发类镀膜的腔室结构中，对蒸发源的利用率普遍低于％，大部分材料蒸发后不是沉积到膜层结构中，而是随着泵被抽走，这造成原材料的巨大损失。常规设计主要在尾排中增加过滤装置，或...
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