技术编号：3290025
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种能抑制基板的温度升高得成膜装置。成膜装置具备成膜部（20），其将包含膜的形成材料的粒子朝向基板S喷出；冷却部，其对冷却部件（33）进行冷却；以及配置部（10），其在从冷却部件（33）离开且与冷却部件（33）相对的位置上配置基板（S）。专利说明成膜装置[0001]本公开的技术涉及成膜装置，所述成膜装置将包含膜的形成材料的粒子朝向基板喷出而在基板上形成膜。背景技术[0002]在作为平板显示器之一的有机EL显示器中形成有多个像素，所述像素具备有机发...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。