技术编号：32920684
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于多晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种用于还原炉钟罩的烘干设备。背景技术.在现有多晶硅生产装置中，还原工序使用的还原炉为钟罩型还原炉，此还原炉每次产出产品后，还原炉钟罩需要清洗、烘干后再次投入使用。为保证多晶硅产品质量，需使干燥后钟罩内壁不能有任何杂物残留，钟罩内壁空气洁净度达到h级，通常清洗完的钟罩内壁是比较干净的，但是当烘干使用的空气有异物时会造成清洗干净的内壁二次受到污染，现有设备供应商使用的烘干通风流道采用的是碳钢或者镀锌钢加工制作而成，长时间暴露在空气环境中，易被...
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