技术编号：3292250
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种沉积与尾气处理一体化设备，包括位于设备下部，用于进行化学气相沉积的中温热解炉以及位于设备上部，对残余尾气进行热解并同时防止热解产物冷凝的高温解热炉，高温解热炉与真空系统相连通，中温热解炉和高温热解炉为一体化结构，沉积时中温热解炉与高温解热炉气压均在1000Pa以下；中温热解的残余尾气直接进入高温热解区进行二次分解，炉体内温度梯度过度，不会导致中温热解产物在两个炉中间转移过程冷凝。专利说明一种沉积与尾气处理一体化设备[0001]本发明涉及一种化学气相沉积...
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