技术编号：32942701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。差分mems读出电路及其使用方法技术领域.本公开总体上涉及一种差分mems读出电路、一种用于连接到mems读出电路的mems器件、以及一种包括mems读出电路和mems器件的系统。本公开具体涉及一种使用mems读出电路的方法。背景技术.电容式mems麦克风使用基于源极跟随器的读出放大器，因为这是这样的应用优化信噪比(snr)、总谐波失真(thd)、功耗、面积等的最佳选择。所使用的mems(微机电系统)是差分类型的，并且因此会生成正负信号，这些信号被读出电路缓冲和/或放大。mems生成的信号可...
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