技术编号：3294467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种除尘风橱，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其中所述除尘风橱为密闭式风橱，设置于硅片传送带的上方，并且由所述硅片传送带的上方向下延伸至所述硅片传送带的上表面；在所述除尘风橱内设有金刚砂喷嘴。本发明通过在金刚砂喷嘴外设置除尘风橱，使除尘风橱由金刚砂喷嘴的上方延伸至硅片传送带的上表面，可以对喷砂时产生的粉尘进行有效控制，避免粉尘飞扬。专利说明—种除尘风橱[0001]本发明涉及IC级硅单晶抛光片，特别是涉及一种用于硅片背面干...
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