技术编号:3295630
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,通过配置抛光液,抛光液配置完成后,需保持循环搅拌的状态,以使抛光液中的固体成分悬浮均匀;然后在铜抛光机上将晶片贴于陶瓷盘上对晶片表面进行粗抛光,最后在单面抛光机上进行精抛光,精抛光使用步抛光液,经本发明所述方法抛光后的A-面蓝宝石晶片的表面平坦度和TTV效果较好,可以将A-面蓝宝石晶片的表面抛光至镜面效果,达到目前行业标准要求,且整个加工过程中不会产生崩边等二次损伤,从而大大提高了量产过程中的良率。专利说明[0001]本发明涉及,属于晶体加工...
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