技术编号:33019815
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。with t-shape masses for gyroscopic application[j].ieee journal of microelectromechanical systems,,():-.)提出了一种旋转高温软化加工工艺,通过高速旋转平台提升了熔融石英片温度场的均匀性,从而提升了微壳体陀螺曲面结构的对称性。但是石墨模具的圆度误差将直接映射在软化的熔融石英玻璃表面,导致曲面壳体结构出现不可逆的制造误差,且这种圆度误差难以通过熔融石英片与石墨模具的高速旋转消除...
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