技术编号:33023946
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体装置技术领域,尤其涉及一种炉体结构及半导体装置。背景技术.半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业,半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上,例如将片状材料送入炉中,在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来获得所需产品,因此需要用到热加工设备。.炉体结构作为热加工设备的主体部分,通常在大气环境中使用,电热元件的材质一般为铬镍合金,为单相整根螺旋形,安装在炉体结构的保温层中,保温层材质为耐温保温材料,外层包裹钢质外壳。电热元件一般为单相整根螺旋形,工...
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