技术编号：33066389
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及莱宝机镀膜设备改良技术领域，尤其涉及一种莱宝机晶圆镀膜夹具。背景技术.由于目前受手机的影响，镜头模组部分的厚度越来越薄，导致其中滤光片的厚度也相应的变薄，常规的基板厚度在.-.mm之间，这么薄的产品镀膜之后，会产生一定的弯曲变形，目前为了解决弯曲的问题采用静电吸附的方式将产品吸附在一个mm厚度的玻璃上，镀膜后需要镀膜第二面，由于背面吸附在底板上，为了清洗和翻面镀膜只能将吸附上的产品通过边缘的部分进行吹气将产品与底板分离，虽然解决翘曲的问题，但是存在这吹气过程中，产...
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