技术编号：33111053
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种硅片载板升降系统。背景技术.申请号：cn.x，公开(公告)号：cnu，悬臂式硅片碳框载板升降系统，该实用新型涉及一种悬臂式硅片碳框载板升降系统，升降平台包括承载平台和升降载板框架，升降载板框架设置于所述承载平台下方；承载平台由若干轻型铝型材拼装连接组成；升降载板框架由若干方形管焊接连接组成，包括交叉加强筋框架以及支撑斜管；y轴升降模组包括丝杠、竖直驱动伺服电机和升降滑台，升降平台沿x轴的一侧通过丝杠滑设...
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