技术编号：33112973
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光学测量技术领域，具体涉及一种大角度斐索干涉仪波长测量装置。背景技术.现如今光学研究越来越成熟，我们对光的应用也越来越广泛。激光波长作为测量的基准值，被广泛应用于长度、速度、角度平面度、直线度和垂直度等测量，是精密计量、精密机械和微电子工业领域的重要测量参数。精确地测量波长更是量值溯源的关键技术。用来精确测量激光波长的仪器称作波长计，大多数波长计都是利用干涉法来测量激光波长。基于不同的干涉装置，大致把波长计分为迈克尔逊干涉型、fp干涉型和斐索干涉型三种类型。.传统的迈克尔逊和f...
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