技术编号：33178979
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及设备基座技术领域，具体为光刻机防微振基座。背景技术.基座是一种用于精密仪器支撑和安装的平台，通过将精密仪器固定安装在基座上，保证了精密仪器的工作精度以及工作效率；目前现有的光刻机在使用时会出现轻微振动，需要对光刻机底部安装基座，由于基座的大小不可进行调节，不适用于不同大小的光刻机使用，降低了基座的实用性。实用新型内容.本方案解决的技术问题为：.如何通过设置夹持机构，通过两个推板对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防...
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