技术编号：3318407
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，具体是用高功率脉冲磁控溅射技术在钢铁表面制备具有高结合力、高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性的类金刚石薄膜。背景技术类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性，被广泛应用于航空航天、轮船、公路运输工具、刀具、医疗器械等方面。但是，由于存在热匹配、结构匹配的差异和苛刻的工况环境等因素，容易导致破损和脱落。因此，制备高结合力类金刚石薄膜，是提高类金刚石薄膜应用过程中的可靠性和拓展其应用范围的关键因素之。通常都通过溅射、电弧等技术在表面设...
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