技术编号：33187158
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。衬底、图案形成装置和量测设备.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日递交的欧洲申请.的优先权，所述欧洲申请的全部内容通过引用并入本文中。技术领域.本发明涉及能够在例如由光刻技术进行的器件制造中使用的方法和设备，以及涉及使用光刻技术来制造器件的方法。本发明涉及量测装置，以及更具体地，使用通常用于测量位置的量测装置(诸如对准传感器)来执行聚焦测量，和具有这种对准传感器的光刻设备。背景技术.光刻设备是一种将期望的图案施加至衬底(通常是在衬底的目标部分上)上的机器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。