技术编号：3319483
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对物理气相沉积涂层的热处理方法，特别是指。背景技术采用物理气相沉积方法(PVD)方法制备的TiAlN涂层由于其比普通的涂层具有较高的硬度和抗氧化性，成为当前切削刀具领域应用最广泛的涂层材料，但是未经过热处理的TiAlN涂层的硬度比较低，不能满足更大范围的工业化应用。热处理方法普遍应用于Al合金、钢材等块状合金领域，此方法用在涂层领域不多。根据申请号为200810031820. 1的发明专利公布的说明书，在一定的温度下(650 IOOO0C ...
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